为满足紫外波段对产品的检测与识别需求, 设计出一套宽光谱、较大视场、较大光圈、结构紧凑的紫外工业检测光学系统, 要求紫外工业......

采用光路展开法, 利用调制度与相位误差两种判据, 分析平行转镜在转动过程中的晃动、平行转镜的平行度、定镜的倾斜误差以及视场角......

在曝光线宽为90 nm的投影光刻机中，准分子激光光源发出的矩形截面光束，需要进行一维扩束，以获得光束整形单元所需的正方形截面分布。......

提供了一种基于机器视觉的双视野双光路远心系统设计方案,以折射棱镜为分界,将远心系统分为物镜部分与目镜部分,通过增加或更换目......

从某高功率固体激光装置的实际需求出发, 优化设计了能够满足装置需求的组合透镜组, 并基于公差分析给出了各组组合透镜加工装配的......

针对现有LED太阳模拟器同时解决准直性、辐照度均匀性、光谱匹配性三大技术指标的难度较高的问题, 基于光电一体化二次光学设计, ......

基于单色像差理论,确定同轴三反光学系统的初始结构参数,通过二次曲面系数为0的偶次非球面的高次项之间的平衡,校正离轴系统引起的......

为满足45 nm及其以下节点光刻技术对照明系统的需求,将深紫外光刻照明系统的光束整形单元所采用的微反射镜阵列(MMA)作为关键器件,......

　　Mechanical products usually consist of many components and parts.A mechanical part always shows variations in its ge......